Onto Innovation Inc. se dedica al diseño, desarrollo, fabricación y asistencia de herramientas de control de procesos que realizan metrología óptica. La empresa ofrece sistemas de litografía y software analítico de control de procesos. También ofrece soluciones de gestión de procesos y rendimiento, e instalaciones de envasado y ensayo de dispositivos mediante sistemas independientes de metrología óptica, inspección de macrodefectos, litografía de envasado y mediciones de películas finas transparentes y opacas. Además, la empresa ofrece una cartera de software de control de procesos que incluye soluciones para herramientas independientes, grupos de herramientas y conjuntos para toda la empresa o la fábrica. Además, se dedica al software de sistemas, piezas de repuesto y otros servicios, y ofrece servicios de licencias de software. Los productos de la empresa se utilizan en fabricantes de semiconductores y dispositivos de envasado avanzado; obleas de silicio; diodos emisores de luz; láseres emisores de superficie de cavidad vertical; sistemas microelectromecánicos; sensores de imagen CMOS; dispositivos de potencia; dispositivos analógicos; filtros de radiofrecuencia; almacenamiento de datos; y diversas aplicaciones industriales y científicas. Onto Innovation Inc. se fundó en 1940 y tiene su sede en Wilmington, Massachusetts.